STANDARD CDS
標準型供酸系統與近端化學品供應
標準型與緊湊型供酸系統，以及支援混酸、控溫需求的近端供酸櫃。
CHEMICAL DELIVERY SYSTEM · FAMILY VIEW
以設備家族理解供應架構
影像呈現化學品供應系統家族；各型式規格請依下方資料比較。
供酸系統規格
Standard CDS
| 規格項目 | Type S標準型供酸系統 | Type C緊湊型供酸系統 |
|---|---|---|
| 製程泵浦 | Maglev + Bellows | Maglev + Bellows |
| 排放泵浦 | Diaphragm | Diaphragm |
| 槽體容量 | 80 L | 50 L |
| 控溫配置 | Inline Heater + HEX | Inline Heater + HEX |
Type SSTD/Smart Dosing function
近端供酸櫃
Local Pump Cart · LPC
近端化學品供應，對應混酸與控溫需求。
- 供應入口
- 1 or 2 chemicals in barrels or FAC supply
- 混酸
- Mixing function
- 預熱
- Pre-heating function