AI 智慧模組 · AI MODULE
AI 智慧模組
虛實整合 Cyber-Physical System (CPS)、振動頻率監測、威視系統 VISTARION。
CPS · DIGITAL TWIN
虛實整合 CPS
設備狀態，轉為可讀資料。
- 數位分身
- Digital Twin
VIBRATION
振動頻率監測
- 振動頻率監測
- Spindle / Chuck Spin
VISTARION
威視系統 VISTARION
工業 AI 監控平台介面
- 酸水氣噴頭位置監控
- Arm Position Check
- CHUCK 區晶圓取放狀態監控
- Wafer on Chuck status
- 熱成像監測
- Thermal Image Monitor
製程腔場域溫度分布／晶圓表面溫度分布監測 ・ 管路洩漏監測